Glove box & Thermal Evaporation Coaters ET-EVAP400C-1

型号

ET-EVAP400C-1

参考图片

主真空室

方形304不锈钢腔室，尺寸：400×400×450mm,前门采用全自动控制（和手套箱集成时），后门采用手动铰链结构，两门均设有观察窗。腔室预留有照明和膜厚仪等设备接口。

真空系统

复合分子泵（抽速1200L/S）+合资直联旋片泵(抽速9L/S),高真空电气联动插板阀，全自动控制。

极限真空

≤6×10^-5Pa

抽速

从大气抽至9×10^-4Pa≤30min（短时间暴露大气，冲入干燥氮气后开始抽气）

基片系统

样品尺寸

抽屉式结构，承载最大小于120×120mm 样品，配日本SMC气动基片挡板，电气联动全自动控制。

运动方式

• 基片台采用磁流体密封，可升降，源与基片之间距离200~300mm连续可调；

• 基片台可连续回转，转速0~30转/分可调；

• 上述过程均为全自动控制。

加热

室温~300℃，日本岛电PID智能控温系统，。

蒸发源

金属蒸发源

2组，采用水冷铜电极+蒸发舟结构

有机蒸发源

2组，采用PID温控有机束源炉，坩埚≥2CC，室温~300℃，连续可调

蒸发电源

金属蒸发电源

电流300A，最大输出功率3KW（转换供二组交替蒸发）

有机蒸发电源

PID智能温控蒸发电源（控温精度±1℃）

膜厚控制系统

采用石英晶振膜厚控制仪，监测厚度显示范围 0-99μ9999Å

水冷系统

配备冷却水循环机，用户只需提供场地。

报警及保护系统

完善的逻辑程序互锁及保护系统，对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况报警并执行相应保护措施。

膜厚不均匀性

Φ100mm≤±5.0%

手套箱系统

手套箱箱体

箱体尺寸：1500×750×900mm

大过渡舱：¢360×600mm，小过渡舱：¢150×300mm

支架高度：950mm

气体净化系统

水氧小于1ppm

单柱净化系统

溶剂净化系统

GE进口水氧分析仪

控制方式

PLC+PC的全自动控制