FF-200/1200系列复合分子泵

型號

FF-200/1200

FF-200/1200G

FF-200/1200C

抽速速率（L/S）

1200

1200

1200

進氣口法蘭

DN200LF

DN200CF

DN200LF

DN200CF

DN200LF

DN200CF

排氣口法蘭

KF40(DN)

KF40(DN)

KF40(DN)

壓縮比

N₂：10⁹

H₂：6×10³

N₂：10⁹

H₂：6×10³

N₂：10⁹

H₂：6×10³

極限壓強（Pa）

≤6×10^-6（DN200LF）

≤6×10^-7（DN200CF）

≤6×10^-6（DN200LF）

≤6×10^-7（DN200CF）

≤6×10^-6（DN200LF）

≤6×10^-7（DN200CF）

建議啟動壓強（Pa）

<100

<100

<100

額定轉速（rpm）

24000

24000

27000

啟動時間（min）

<6

<6

<6

軸承

精密機械軸承

精密陶瓷軸承

精密陶瓷軸承

振動值（μm）

≤0.1

≤0.1

≤0.1

建議前級泵（L/S）

15

15

15

充油量（ml）

150

150

150

水嘴

內徑￠10直插自密封

內徑￠10直插自密封

內徑￠10直插自密封

冷卻方式

水冷

水冷

水冷

冷卻水溫度（℃）

≤25

≤25

≤25

泵體烘烤溫度（℃）

≤100

100

100

環境溫度（℃）

5~40

5~40

5~40

潤滑方式

潤滑油

潤滑油

潤滑油

安裝方向

豎直±5⁰

豎直±5⁰

豎直±5⁰

重量（kg）

39

39

39